截止2024年4月3日，个股表现方面，光刻机上市公司当日领跌股为王子新材(002735)，该股当日报收12.45，上涨-9.98%，成交量32.41万。腾景科技(688195)以下跌-7.96%紧随其后，该股当日成交量8.57万。此外，茂莱光学(688502)、东方嘉盛(002889)、奥来德(688378)均进入当日光刻机上市公司下跌股之列。

　　市值来看，截止2024年4月3日，光刻机上市公司中茂莱光学、麦克奥迪、王子新材等7家市值位于不足100亿之列；芯源微、富创精密、福晶科技等3家市值位于100亿到500亿之列。

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